EUV光刻机也是历史上最复杂、最昂贵的机器之一。《芯片浪潮：纳米工艺背后的全球竞争》一书中有描述：一台EUV光刻机的零件超过10万个，重达180吨，需要用40个集装箱来运输，光刻机的安装调试都要超过一年时间。阿斯麦在刚开始时只能年产二三十台EUV光刻机，到目前也不过增加到四五十台。

EUV光刻机产能不足，很大一部分原因是光学镜头的供货不足。蔡司公司是EUV光刻镜头的唯一供应商。电子束光刻采用电子源发出电子束而并非光源，因此电子束光刻技术解决的是光刻机对光学镜头的依赖。

但在ASML步步高升之时，飞利浦却逐渐和这家公司分道扬镳。1988年，ASML逐渐从飞利浦中剥离，开始以独立的市场主体运作，向全球客户提供光刻设备。而在20世纪末，飞利浦决定进行全面的业务转型，将重心从半导体和电子硬件领域转向医疗保健、消费品和照明等 ...