微机电系统(MEMS)也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。MEMS传感器是MEMS技术的一个应用，它们是利用微电子和微机械加工技术制造出来的 ...

MEMS微镜凭借在众多领域的应用，近些年在科研及光学产业吸引了极高的关注。MEMS微镜的应用范围非常广，包括共聚焦显微镜、投影显示、光学相干断层扫描（OCT）、激光雷达（LiDAR）、3D扫描仪、光开关、光谱仪以及医学成像等。MEMS扫描器已成功取代OCT和共聚焦 ...